真空科学与技术学报杂志论文格式要求：
①一级标题用“一、二、……” 来标识，二级标题用“（一）、（二）、……”来标识，三级标题用“1.2.”来标识，四级标题用“（1）、（2）”来标识。
②参考文献要求所有稿件必须有参考文献，应以作者亲自阅读的近5年公开发表的文献为准，论著的参考文献一般10～15条，综述20～30条。文中参考文献的注码用方括号准确地标在有关文字的右上角。
③摘要：论著类文章应附300字左右摘要，英文摘要必须与中文标题与摘要内容相对应。
④包括真实姓名、性别、出生年、职务职称、学位、研究方向、联系电话、E-mail、邮编等。
⑤本刊可对来稿作文字修改、删节，来稿经本刊采用，其专有使用权归本刊所有;如发现抄袭、冒名等违反著作权法相关规定的，除作者文责自负外，本刊保留以法律途径追究相关作者责任的权利。
真空科学与技术学报杂志往年文章平均引文率
真空科学与技术学报杂志往年文章摘录
微波高功率对生长金刚石膜影响的研究
电子束蒸镀金膜表面黑色颗粒形成的机理研究
4-硝基-4-二甲基氨基偶氮苯薄膜的制备及光学性质
具有七个焦点的碳纳米管阴极分布式X射线源
纳米沟道真空场发射三极管的制备及其特性研究
大气压宽径向空气等离子体射流装置的设计、实验和仿真研究
高气压直流辉光CH4/H2等离子体放电过程中的占空比效应
真空铝热还原一步法制取镁钙合金的实验研究
真空电弧熔炼制备U3Si2块体及其杂质状态研究
金刚石MEMS三维谐振器的设计与加工
