微细加工技术杂志论文格式要求：
①题名应简明、具体，能概括文章的要旨，一般不超过20个汉字。
②本刊要求所引用参考文献不得少于10篇，其中应包括一定数量的国外文献和近5年的文献。
③论著须附200～300字中英文摘要，包括目的、方法、结果、结论。
④在首页地脚处注明资助基金（名称、编号、内容）、第一作者姓名、性别、出生年、学历、职称、从事工作（或主要研究方向）。
⑤为了提高工作效率，来稿请勿寄个人。本刊因人力物力所限，来稿不退，请自留底稿。审稿周期一般为3个月。逾期未收到通知，可自行处理。
微细加工技术杂志往年文章平均引文率
微细加工技术杂志往年文章摘录
微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究
基于AFM的多图层图形加工
氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制备GaN纳米线
基于多种群遗传算法的膜系优化设计
Al掺杂的ZnO薄膜的XPS谱和光学特性研究
90 nm技术节点硅栅的干法刻蚀工艺研究
硅基铂钛夹层AAO多孔模版制备半导体量子线
微细电解加工中工具电极的制备及应用
基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作
双向横向热执行器结构设计
