真空科学与技术杂志B:纳米技术与微电子学(Journal Of Vacuum Science And Technology B:nanotechnology And Microelectronics)是一本由AVS Science and Technology Society出版的一本Materials Science-Materials Chemistry学术刊物，主要报道Materials Science-Materials Chemistry相关领域研究成果与实践。本刊已入选来源期刊，CiteScore指数2.7，SJR指数0.328。本刊非开放获取期刊。
1983年，《真空科学技术杂志》A和B两种期刊在原《真空科学与技术杂志》拆分后创刊。JVSTA致力于发表关于材料、薄膜和等离子体界面和表面的原创研究报告、信件和评论文章。JVSTA发布的报告在基础层面推进了对界面和表面的基本理解，并利用这种理解来推进各种技术应用的最新进展。
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 4区 | 否 | 否 |
中科院JCR期刊分区（又称分区表、分区数据）是中国科学院文献情报中心世界科学前沿分析中心的科学研究成果。在中科院期刊分区表中，主要参考3年平均IF作为学术影响力，最终每个分区的期刊累积学术影响力是相同的，各区的期刊数量由高到底呈金字塔式分布。
| 学科类别 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering | Q3 | 448 / 797 |
43%
|
| 大类：Engineering 小类：Materials Chemistry | Q3 | 192 / 317 |
39%
|
| 大类：Engineering 小类：Instrumentation | Q3 | 86 / 141 |
39%
|
| 大类：Engineering 小类：Surfaces, Coatings and Films | Q3 | 82 / 132 |
38%
|
| 大类：Engineering 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials | Q3 | 178 / 284 |
37%
|
| 大类：Engineering 小类：Process Chemistry and Technology | Q3 | 47 / 73 |
36%
|
CiteScore：该指标由Elsevier于2016年提出，指期刊发表的单篇文章平均被引用次数。CiteScorer的计算方式是：例如，某期刊2022年CiteScore的计算方法是该期刊在2019年、2020年和2021年发表的文章在2022年获得的被引次数，除以该期刊2019年、2020年和2021发表并收录于Scopus中的文章数量总和。
中科院分区 2区 JCR分区 Q1
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中科院分区 1区 JCR分区 Q1
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中科院分区 4区 JCR分区 Q3
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中科院分区 1区 JCR分区 Q1
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中科院分区 4区 JCR分区 Q4
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中科院分区 1区 JCR分区 Q1
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