半导体加工中的材料科学(Materials Science In Semiconductor Processing)是一本由Elsevier Ltd出版的一本工程技术-材料科学：综合学术刊物，主要报道工程技术-材料科学：综合相关领域研究成果与实践。本刊已入选来源期刊，该刊创刊于1998年，出版周期Bimonthly。2021-2022年最新版WOS分区等级：Q2，2023年发布的影响因子为4.2，CiteScore指数8，SJR指数0.732。本刊非开放获取期刊。
《半导体加工中的材料科学》为讨论（光）电子、传感器、探测器、生物技术和绿色能源的功能材料和器件的新型加工、应用和理论研究提供了一个独特的论坛。
每期都旨在提供当前见解、新成就、突破和未来趋势的快照，涉及微电子、能量转换和存储、通信、生物技术、（光）催化、纳米和薄膜技术、混合和复合材料、化学加工、气相沉积、器件制造和建模等不同领域，这些领域是先进半导体加工和应用的支柱。
内容包括：亚微米器件的先进光刻技术；蚀刻及相关主题；离子注入；损伤演变和相关问题；等离子体和热 CVD；快速热处理；先进的金属化和互连方案；薄介电层、氧化；溶胶-凝胶处理；化学浴和（电）化学沉积；复合半导体加工；新型非氧化物材料及其应用； (大)分子和混合材料；分子动力学、从头算方法、蒙特卡罗等；分立电路和集成电路的新材料和新工艺；磁性材料和自旋电子学；异质结构和量子器件；半导体电学和光学特性的工程；晶体生长机制；可靠性、缺陷密度、固有杂质和缺陷。
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 | 3区 3区 3区 3区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | PHYSICS, APPLIED 物理：应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 | 2区 2区 3区 3区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 | 3区 3区 3区 3区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 | 3区 4区 3区 3区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 | 3区 3区 3区 3区 | 否 | 否 |
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 3区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程：电子与电气 MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY 材料科学：综合 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 PHYSICS, CONDENSED MATTER 物理：凝聚态物理 | 3区 3区 3区 3区 | 否 | 否 |
中科院JCR期刊分区（又称分区表、分区数据）是中国科学院文献情报中心世界科学前沿分析中心的科学研究成果。在中科院期刊分区表中，主要参考3年平均IF作为学术影响力，最终每个分区的期刊累积学术影响力是相同的，各区的期刊数量由高到底呈金字塔式分布。
| 按JIF指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q2 | 89 / 352 |
74.9%
|
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q2 | 158 / 438 |
64%
|
| 学科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q2 | 51 / 179 |
71.8%
|
| 学科：PHYSICS, CONDENSED MATTER | SCIE | Q2 | 25 / 79 |
69%
|
| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 学科：ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q2 | 113 / 354 |
68.22%
|
| 学科：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY | SCIE | Q2 | 125 / 438 |
71.58%
|
| 学科：PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q2 | 47 / 179 |
74.02%
|
| 学科：PHYSICS, CONDENSED MATTER | SCIE | Q1 | 19 / 79 |
76.58%
|
汤森路透每年出版一本《期刊引用报告》（Journal Citation Reports，简称JCR）。JCR对86000多种SCI期刊的影响因子（Impact Factor）等指数加以统计。JCR将收录期刊分为176个不同学科类别在JCR的Journal Ranking中，主要参考当年IF，最终每个分区的期刊数量是均分的。
| 学科类别 | 分区 | 排名 | 百分位 |
| 大类：Engineering 小类：Mechanical Engineering | Q1 | 87 / 672 |
87%
|
| 大类：Engineering 小类：Condensed Matter Physics | Q1 | 59 / 434 |
86%
|
| 大类：Engineering 小类：Mechanics of Materials | Q1 | 60 / 398 |
85%
|
| 大类：Engineering 小类：General Materials Science | Q1 | 100 / 463 |
78%
|
CiteScore：该指标由Elsevier于2016年提出，指期刊发表的单篇文章平均被引用次数。CiteScorer的计算方式是：例如，某期刊2022年CiteScore的计算方法是该期刊在2019年、2020年和2021年发表的文章在2022年获得的被引次数，除以该期刊2019年、2020年和2021发表并收录于Scopus中的文章数量总和。
| 文章名称 | 引用次数 |
| 期刊名称 | 引用次数 |
| 期刊名称 | 引用次数 |
| 国家/地区名 | 数量 |
| 机构名 | 数量 |
中科院分区 2区 JCR分区 Q1
查看详情
中科院分区 1区 JCR分区 Q1
查看详情
中科院分区 1区 JCR分区 Q1
查看详情
中科院分区 4区 JCR分区 Q3
查看详情
中科院分区 1区 JCR分区 Q1
查看详情
中科院分区 1区 JCR分区 Q1
查看详情若用户需要出版服务，请联系出版商：ELSEVIER SCI LTD, THE BOULEVARD, LANGFORD LANE, KIDLINGTON, OXFORD, ENGLAND, OXON, OX5 1GB。