摘要：Laue晶体单色器常用于单色化高能X射线(>50keV),通过对其晶片压弯可以实现高能光束聚焦。晶片压弯过程中会不可避免地产生扭曲,从而影响单色器的工作效率。利用波动光学仿真的方法,分析弯晶面形扭曲对Laue晶体单色器性能的影响,并提出一种角位移微调轴角装置,用来消除这种扭曲。该装置基于直梁型柔性铰链,利用叠加原理和对称结构。利用有限元方法分析了该装置的力学性能。分析结果表明,轴角装置的转角范围为±2°时,其转动中心最大偏移为20μm,实现了角位移分辨率好于1″,动态范围达到104,达到设计目标。